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Format 図書

電子デバイス界面テクノロジー研究会 : 材料・プロセス・デバイス特性の物理 : 第22回研究会 : 予稿集 : 特別研究会研究報告

応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編


Title 電子デバイス界面テクノロジー研究会 : 材料・プロセス・デバイス特性の物理 : 第22回研究会 : 予稿集 : 特別研究会研究報告
Author 応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編
Personal Name (Author) 応用物理学会
Place of Publication (Country Code) JP
Place of Publication[東京]
Date 2017.1
Size & Duration 280p ; 30cm
Description 会期・会場: 2017年1月20日-21日 東レ総合研修センター
Description 共同刊行: 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
Description 文献あり
ISBN 9784863485969
National Bibliography No.(JPNO) 22840457
Year of Publication(W3CDTF) 2017
Subject Heading(Keyword) 電子部品
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Subject Heading(Keyword) 界面化学
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NDC(9th revised) 549 : Electronic engineering
Target Audience 一般
Material Type 図書
Language(ISO639-2 Form) jpn : 日本語

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