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資料種別 図書

電子デバイス界面テクノロジー研究会 : 材料・プロセス・デバイス特性の物理 : 第22回研究会 : 予稿集 : 特別研究会研究報告

応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編

詳細情報

タイトル 電子デバイス界面テクノロジー研究会 : 材料・プロセス・デバイス特性の物理 : 第22回研究会 : 予稿集 : 特別研究会研究報告
著者 応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編
著者標目 応用物理学会
出版地(国名コード) JP
出版地[東京]
出版社応用物理学会薄膜・表面物理分科会
出版年月日等 2017.1
大きさ、容量等 280p ; 30cm
注記 会期・会場: 2017年1月20日-21日 東レ総合研修センター
注記 共同刊行: 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
注記 文献あり
ISBN 9784863485969
JP番号 22840457
出版年(W3CDTF) 2017
件名(キーワード) 電子部品
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件名(キーワード) 界面化学
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NDLC ND354
NDC(9版) 549 : 電子工学
対象利用者 一般
資料の種別 図書
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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