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目次
CONTENTS
Wednesday July 10:Oral session at Science Hall
[Opening Session]
KN-1 Plasma assisted PVD: The past and the present,/ 1
OP-1 Reactive magnetron sputtering: from fundamentals to high deposition rate processes,/ 5
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書誌情報
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- 資料種別
- 電子資料
- ISSN
- 2187-7637
- タイトルよみ
- The Twelfth International Symposium on Sputtering & Plasma Processes ISSP 2013 : proceedings
- 著者・編者
- editor: Yasuhito Gotoh
- 著者標目
- 後藤, 康仁, 1962- ゴトウ, ヤスヒト, 1962- ( 00930707 )典拠
- 出版年月日等
- 2013.7
- 出版年（W3CDTF）
- 2013
- 数量
- CD-ROM 1枚