博士論文

塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用

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塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用

国立国会図書館請求記号
UT51-2012-G133
国立国会図書館書誌ID
023905126
資料種別
博士論文
著者
纐纈英典 [著]
出版者
[纐纈英典]
出版年
[2012]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
奈良先端科学技術大学院大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
エンソ ガス ネツ エッチングホウ オ モチイタ 4Hガタ タンカ ケイソ ノ ビサイ カコウ ト ソレ オ カツヨウシタ チョウ テイソンシツ デンリョク セイギョ ソシ エ ノ オウヨウ
著者・編者
纐纈英典 [著]
著者標目
纐纈, 英典 コウケツ, ヒデノリ
出版事項
出版年月日等
[2012]
出版年(W3CDTF)
2012
数量
1冊
授与機関名
奈良先端科学技術大学院大学