サイトメニューここからこのページの先頭です

ショートカットキーの説明を開始します。画面遷移や機能実行は、説明にあるショートカットキーを同時に押した後、Enterキーを押してください。ショートカットキーの説明を聞くには、Alt+0。トップ画面の表示には、Alt+1。ログインを行うには、Alt+2。簡易検索画面の表示には、Alt+3。詳細検索画面の表示には、Alt+4。障害者向け資料検索画面の表示には、Alt+5。検索結果の並び替えを行うには、Alt+6。国立国会図書館ホームページの表示には、Alt+7。検索結果の絞り込みを行うには、Alt+8。以上でショートカットキーの説明を終わります。

ナビゲーションここから

ナビゲーションここまで

本文ここから

資料種別 会議録

Proceedings of: precision engineering and mechatronics supporting the semiconductor industry : 2012 summer topical meeting : June 24 to 26, 2012 : Lawrence Berkeley National Laboratory : Berkeley, California, USA : Jun 2012, Berkeley, CA

詳細情報

タイトル Proceedings of: precision engineering and mechatronics supporting the semiconductor industry : 2012 summer topical meeting : June 24 to 26, 2012 : Lawrence Berkeley National Laboratory : Berkeley, California, USA : Jun 2012, Berkeley, CA
出版地(国名コード) US
出版地Raleigh
出版社American Society for Precision Engineering
出版年月日等 [2012]
大きさ、容量等 xii, 3-116 p. : ill. (some col.) ; 28 cm
注記 Program, an abstract and papers
注記 "Volume 53" -- backcover
注記 "This topical meeting is a second version of the highly successful meeting held in Spring 2008, Precision Mechanical Design and Mechatronics for Sub-50nm Semiconductor Equipment." -- foreword
注記 "A full-day tutorial on Sunday, June 24 will give participants (...) The 2012 Summer Topical Meeting will span 2 days with technical presentations, (...)" -- foreword
注記 Includes bibliographical references and author index
ISBN 9781887706605
別タイトル Proceedings : ASPE 2012 summer topical meeting : precision engineering and mechatronics supporting the semiconductor industry : June 2012
出版年(W3CDTF) 2012
NDLC M17
対象利用者 一般
資料の種別 図書
資料の種別 会議録
言語(ISO639-2形式) eng : English

本文ここまで

Copyright © 2012 National Diet Library. All Rights Reserved.

フッター ここまで