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资料类别 会議録

ULSI process integration 7 : 7th symposium on ULSI process integration : 220th meeting of the Electrochemical Society : Oct 2011, Boston, MA

书目信息

题名 ULSI process integration 7 : 7th symposium on ULSI process integration : 220th meeting of the Electrochemical Society : Oct 2011, Boston, MA
丛编 ECS Transactions, 41 (no. 7)
出版地(国名编码) US
出版地Pennington
出版社Electrochemical Society
出版年月日等 c2011
大小,容量等 ix, 417 p. : ill. ; 23 cm
附注 ISBN : 9781566779074 (Hardcover), 9781607682615 (PDF)
附注 ISSN : 19386737 (online), 21512051 (cd-rom)
附注 Papers
附注 Includes bibliographical references and author index
ISBN 9781566779074
ISBN 9781607682615
ISSN 19386737
ISSN 21512051
ISSN 19385862
另外题名 Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing
出版年(W3CDTF) 2011
NDLC M17
阅读对象 一般
资料的类别 図書
资料的类别 会議録
语言(ISO639-2形式) eng : English

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