博士論文

高濃度オゾンガスを用いた半導体の低温酸化プロセスに関する研究

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高濃度オゾンガスを用いた半導体の低温酸化プロセスに関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-N812
国立国会図書館書誌ID
023396253
資料種別
博士論文
著者
西口哲也 [著]
出版者
[西口哲也]
出版年
[2010]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
コウノウド オゾン ガス オ モチイタ ハンドウタイ ノ テイオン サンカ プロセス ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
西口哲也 [著]
著者標目
西口, 哲也 ニシグチ, テツヤ
出版事項
出版年月日等
[2010]
出版年(W3CDTF)
2010
数量
1冊
授与機関名
東京大学