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資料種別 会議録

Design for manufacturability through design-process integration 4 : 24-25 February 2010 : San Jose, California, United States. : Feb 2010, San Jose, CA

詳細情報

タイトル Design for manufacturability through design-process integration 4 : 24-25 February 2010 : San Jose, California, United States. : Feb 2010, San Jose, CA
シリーズ名 SPIE Proceedings, 7641
出版地(国名コード) US
出版地Bellingham
出版社SPIE
出版年月日等 c2010
大きさ、容量等 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm
注記 Papers
注記 Includes bibliographical references and author index
ISBN 9780819480552
ISSN 0277786X
OCLC番号 670239509
別タイトル SPIE advanced lithography
出版年(W3CDTF) 2010
件名(キーワード) Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses
件名(キーワード) Integrated circuits -- Defects -- Analysis -- Congresses
件名(キーワード) Semiconductors -- Design and construction -- Congresses
件名(キーワード) Semiconductor wafers -- Defects -- Analysis -- Congresses
件名(キーワード) Microelectronics industry -- Quality control -- Congresses
件名(キーワード) Quality control -- Congresses
NDLC M17
LCC TK7874
資料の種別 図書
資料の種別 会議録
言語(ISO639-2形式) eng : English

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