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資料種別 図書

プラズマ/プロセスの原理

Michael A.Lieberman, Allan J.Lichtenberg 著,佐藤久明 訳,堀勝 監修

詳細情報

タイトル プラズマ/プロセスの原理
著者 Michael A.Lieberman, Allan J.Lichtenberg 著
著者 佐藤久明 訳
著者 堀勝 監修
著者標目 Lieberman, Michael A
著者標目 Lichtenberg, Allan J
著者標目 佐藤, 久明
著者標目 堀, 勝, 1958-
出版地(国名コード) JP
出版地東京
出版社丸善
出版年月日等 2010.1
大きさ、容量等 612p ; 26cm
注記 初版: EDリサーチ社2001年刊
注記 原タイトル: Principles of plasma discharges and materials processing.2nd ed
注記 文献あり 索引あり
ISBN 9784621082232
価格 18000円
JP番号 21712093
NS-MARC番号 110072600
別タイトル Principles of plasma discharges and materials processing.2nd ed
第2版
出版年(W3CDTF) 2010
件名(キーワード) プラズマ
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件名(キーワード) 薄膜
NDLC MC241
NDC(9版) 427.6 : 電磁気学
原文の言語(ISO639-2形式) eng : English
対象利用者 一般
資料の種別 図書
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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