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プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会

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プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会

国立国会図書館請求記号
MC241-H23
国立国会図書館書誌ID
000008060004
資料種別
図書
著者
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
出版者
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
出版年
2003.9
資料形態
ページ数・大きさ等
92p ; 26cm
NDC
427.6
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資料に関する注記

一般注記:

会期・会場: 2003年9月11日-12日 東洋大学白山キャンパススカイホールJSAP catalog number: 032335奥付のタイトル: 第14回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト

資料詳細

内容細目:

大気圧プラズマプロセスの可能性 / 岡崎幸子 著大気圧プラズマの生成と応用制御 / 小駒益弘 著ウエハーエッチングプラズマシステムの設計とプロセス構築 / 寒川誠二 著...

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目次

  • 目次

  • 開催日:2003年9月11日(木)〜12日(金)

  • 会場:東洋大学 白山キャンパス スカイホール

  • 1. 大気圧プラズマプロセスの可能性/ 1

    岡崎幸子(上智大学名誉教授)

  • 2. 大気圧プラズマの生成と応用制御/ 6

    小駒益弘(上智大学)

書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
プラズマ プロセス ソウチ ジッケン ノ ジッセンテキ セッケイ シュホウ : テイキアツ ダイコウケイ カラ タイキアツ ミュー プラズマ マデ : ダイ 14カイ プラズマ エレクトロニクス コウシュウカイ
著者・編者
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
著者標目
応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
出版年月日等
2003.9
出版年(W3CDTF)
2003
数量
92p
大きさ
26cm