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走査型プローブ顕微法による金属表面の微細加工

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走査型プローブ顕微法による金属表面の微細加工

国立国会図書館請求記号
Y151-H06650821
国立国会図書館書誌ID
000006999218
資料種別
図書
著者
李木, 経孝, 広島電機大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ソウサガタ プローブケンビホウ ニ ヨル キンゾク ヒョウメン ノ ビサイ カコウ
著者・編者
李木, 経孝, 広島電機大学
著者標目
李木, 経孝 スモモギ, ツネタカ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
走査型プローブ顕微法 (SPM) ソウサガタプローブケンビホウ (SPM)
原子間力顕微法 (AFM) ゲンシカンリヨクケンビホウ (AFM)
走査型トンネル顕微法 (STM) ソウサガタトンネルケンビホウ (STM)
超微細加工 チヨウビサイカコウ
ナノスケール加工 ナノスケールカコウ
高密度記録 コウミツドキロク
マイクロトライボロジ マイクロトライボロジ
金属材料 キンゾクザイリヨウ