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資料種別 図書

走査型プローブ顕微法による金属表面の微細加工

李木, 経孝, 広島電機大学

詳細情報

タイトル 走査型プローブ顕微法による金属表面の微細加工
著者 李木, 経孝, 広島電機大学
出版年月日等 1994-1995
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 06650821
別タイトル 研究種目 一般研究(C)
出版年(W3CDTF) 1994
件名(キーワード) 走査型プローブ顕微法 (SPM)
件名(キーワード) 原子間力顕微法 (AFM)
件名(キーワード) 走査型トンネル顕微法 (STM)
件名(キーワード) 超微細加工
件名(キーワード) ナノスケール加工
件名(キーワード) 高密度記録
件名(キーワード) マイクロトライボロジ
件名(キーワード) 金属材料
NDLC Y151
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