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有機シリコン材料からの高品質ワイドギヤツプ半導体薄膜の作製

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有機シリコン材料からの高品質ワイドギヤツプ半導体薄膜の作製

国立国会図書館請求記号
Y151-H06650363
国立国会図書館書誌ID
000006998917
資料種別
図書
著者
畑中, 義式, 静岡大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ユウキ シリコン ザイリョウ カラ ノ コウヒンシツ ワイドギヤツプ ハンドウタイ ハクマク ノ サクセイ
著者・編者
畑中, 義式, 静岡大学
著者標目
畑中, 義式 ハタナカ, ヨシノリ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
有機シリコン ユウキシリコン
リモートプラズマ リモートプラズマ
シリコンカーバイド薄膜 シリコンカーバイドハクマク
ヘキサメチルジシラン ヘキサメチルジシラン
SiO2薄膜 SIO2ハクマク
水素ラジカル反応 スイソラジカルハンノウ
プラズマCVD プラズマCVD
TEOS TEOS