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資料種別 図書

有機シリコン材料からの高品質ワイドギヤツプ半導体薄膜の作製

畑中, 義式, 静岡大学

詳細情報

タイトル 有機シリコン材料からの高品質ワイドギヤツプ半導体薄膜の作製
著者 畑中, 義式, 静岡大学
出版年月日等 1994-1995
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 06650363
別タイトル 研究種目 一般研究(C)
出版年(W3CDTF) 1994
件名(キーワード) 有機シリコン
件名(キーワード) リモートプラズマ
件名(キーワード) シリコンカーバイド薄膜
件名(キーワード) ヘキサメチルジシラン
件名(キーワード) SiO2薄膜
件名(キーワード) 水素ラジカル反応
件名(キーワード) プラズマCVD
件名(キーワード) TEOS
NDLC Y151
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