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資料種別 図書

レーザ干渉法によるインボリユート歯車歯面の形状誤差の非接触測定

藤尾, 博重, 京都大学

詳細情報

タイトル レーザ干渉法によるインボリユート歯車歯面の形状誤差の非接触測定
著者 藤尾, 博重, 京都大学
出版年月日等 1994-1995
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 06650173
別タイトル 研究種目 一般研究(C)
出版年(W3CDTF) 1994
件名(キーワード) レーザ
件名(キーワード) 斜入射干渉法
件名(キーワード) 位相
件名(キーワード) 位相差
件名(キーワード) 位相シフト法
件名(キーワード) 形状偏差
件名(キーワード) 精度測定
件名(キーワード) 計測
NDLC Y151
資料の種別 図書

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