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Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発

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Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H06555039
国立国会図書館書誌ID
000006997303
資料種別
図書
著者
森脇, 俊道, 神戸大学
出版者
-
出版年
1994-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Walking Drive ニ ヨル ドウジ 3 ジク ナノメータ セイギョ チョウセイミツ カコウキ ノ カイハツ
著者・編者
森脇, 俊道, 神戸大学
著者標目
森脇, 俊道 モリワキ, トシミチ
出版年月日等
1994-
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
Walking Drive WALKINGDRIVE
超精密加工機 チヨウセイミツカコウキ
圧電素子 アツデンソシ
精密送りテーブル セイミツソウリテーブル
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
ナノテクノロジー ナノテクノロジー
運動精度 ウンドウセイド