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資料種別 図書

Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発

森脇, 俊道, 神戸大学

詳細情報

タイトル Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発
著者 森脇, 俊道, 神戸大学
出版年月日等 1994-
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 06555039
別タイトル 研究種目 試験研究(B)
出版年(W3CDTF) 1994
件名(キーワード) Walking Drive
件名(キーワード) 超精密加工機
件名(キーワード) 圧電素子
件名(キーワード) 精密送りテーブル
件名(キーワード) 超精密位置決め
件名(キーワード) ナノテクノロジー
件名(キーワード) 運動精度
NDLC Y151
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