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気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発

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気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H06555023
国立国会図書館書誌ID
000006997287
資料種別
図書
著者
白谷正治, 九州大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
キソウ チュウ ビリュウシ ノ リュウケイ ・ ミツド ・ クッセツリツ ノ チョウコウカンド レーザ ヘンコウ サンラン ソノ バ ケイソクホウ ノ カイハツ
著者・編者
白谷正治, 九州大学
著者標目
白谷, 正治 シラタニ, マサハル
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
レーザ散乱 レーザサンラン
2次元計測 2ジゲンケイソク
その場計測 ソノバケイソク
偏光 ヘンコウ
微粒子 ビリユウシ
プラズマCVD プラズマCVD
プラズマプロセス プラズマプロセス
シランプラズマ シランプラズマ