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資料種別 図書

金属シリサイドコンタクトを用いた非晶質シリコン薄膜トランジスタの作製

上野, 智雄, 東京農工大学

詳細情報

タイトル 金属シリサイドコンタクトを用いた非晶質シリコン薄膜トランジスタの作製
著者 上野, 智雄, 東京農工大学
出版年月日等 1994-1995
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 06452227
別タイトル 研究種目 一般研究(B)
出版年(W3CDTF) 1994
件名(キーワード) 薄膜トランジスタ
件名(キーワード) シリサイド
件名(キーワード) 高エネルギーフオトン
件名(キーワード) 原子状水素
件名(キーワード) 原子状酸素
件名(キーワード) 結晶性絶縁物
NDLC Y151
資料の種別 図書

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