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化学気相成長法による透明ダイヤモンド膜合成装置に関する基礎研究

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化学気相成長法による透明ダイヤモンド膜合成装置に関する基礎研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H06452157
国立国会図書館書誌ID
000006996062
資料種別
図書
著者
吉川, 昌範, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル トウメイ ダイヤモンドマク ゴウセイ ソウチ ニ カンスル キソ ケンキュウ
著者・編者
吉川, 昌範, 東京工業大学
著者標目
吉川, 昌範 ヨシカワ, マサノリ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
化学気相成長法 カガクキソウセイチヨウホウ
ダイヤモンド ダイヤモンド
透明 トウメイ
合成装置 ゴウセイソウチ
アーク放電 アークホウデン
プラズマジエツト プラズマジエツト
磁場 ジバ