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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ハロゲンケイ キュウチャク ガス オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメン ノ ゲンシ レベルエツチング ト デポジシヨン
- 著者・編者
- 吉村, 雅満, 豊田工業大学
- 出版年月日等
- 1994-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1994
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
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