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水素終端シリコン表面における低温ヘテロエピキタシー

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水素終端シリコン表面における低温ヘテロエピキタシー

国立国会図書館請求記号
Y151-H06402025
国立国会図書館書誌ID
000006995607
資料種別
図書
著者
尾浦, 憲治郎, 大阪大学
出版者
-
出版年
1994-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
スイソ シュウ タン シリコン ヒョウメン ニ オケル テイオン ヘテロエピキタシー
著者・編者
尾浦, 憲治郎, 大阪大学
著者標目
尾浦, 憲治郎 オウラ, ケンジロウ
出版年月日等
1994-1996
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(A)
件名標目
表面水素 ヒヨウメンスイソ
イオンビーム イオンビーム
STM STM
エピキタシー エピキタシー
金属/シリコン界面 キンゾク/シリコンカイメン