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非晶質誘電体薄膜の構造評価と機能特性

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非晶質誘電体薄膜の構造評価と機能特性

国立国会図書館請求記号
Y151-H05650682
国立国会図書館書誌ID
000006993094
資料種別
図書
著者
森井, 賢二, 大阪府立大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒショウシツ ユウデンタイ ハクマク ノ コウゾウ ヒョウカ ト キノウ トクセイ
著者・編者
森井, 賢二, 大阪府立大学
著者標目
森井, 賢二 モリイ, ケンジ
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
誘電体薄膜 ユウデンタイハクマク
非晶質薄膜 ヒシヨウシツハクマク
比誘電率 ヒユウデンリツ
誘電損失 ユウデンソンシツ
誘電率の温度依存性 ユウデンリツノオンドイゾンセイ
誘電率の周波数依存性 ユウデンリツノシユウハスウイゾンセイ
誘電緩和 ユウデンカンワ
チタン酸系誘電体 チタンサンケイユウデンタイ