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圧電性五酸化タンタル/パイレツクスガラス構造超音波デバイスの試作

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圧電性五酸化タンタル/パイレツクスガラス構造超音波デバイスの試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H05650324
国立国会図書館書誌ID
000006992957
資料種別
図書
著者
山口, 正恆, 千葉大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アツデンセイ ゴ サンカ タンタル/パイレツクスガラス コウゾウ チョウオンパ デバイス ノ シサク
著者・編者
山口, 正恆, 千葉大学
著者標目
山口, 正恆 ヤマグチ, マサツネ
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
五酸化タンタル 5サンカタンタル
超音波トランスジユーサ チヨウオンパトランスジユーサ
酸化亜鉛 サンカアエン
圧電性 アツデンセイ
共振子 キヨウシンシ
スパツタ スパツタ
パイレツクスガラス パイレツクスガラス
マイクロマシニング マイクロマシニング