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資料種別 図書

圧電性五酸化タンタル/パイレツクスガラス構造超音波デバイスの試作

山口, 正恆, 千葉大学

詳細情報

タイトル 圧電性五酸化タンタル/パイレツクスガラス構造超音波デバイスの試作
著者 山口, 正恆, 千葉大学
出版年月日等 1993-1994
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 05650324
別タイトル 研究種目 一般研究(C)
出版年(W3CDTF) 1993
件名(キーワード) 五酸化タンタル
件名(キーワード) 超音波トランスジユーサ
件名(キーワード) 酸化亜鉛
件名(キーワード) 圧電性
件名(キーワード) 共振子
件名(キーワード) スパツタ
件名(キーワード) パイレツクスガラス
件名(キーワード) マイクロマシニング
NDLC Y151
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