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スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製

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スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製

国立国会図書館請求記号
Y151-H04650272
国立国会図書館書誌ID
000006988035
資料種別
図書
著者
星, 陽一, 東京工芸大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
スパツタケイ プラズマ ゲン オ モチイタ チッカテツケイ コウホウワ ジカナンジセイ ハクマク ノ サクセイ
著者・編者
星, 陽一, 東京工芸大学
著者標目
星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
窒化鉄薄膜 チツカテツハクマク
プラズマ源 プラズマゲン
スパツタ スパツタ
イオンビームデポジツシヨン イオンビームデポジツシヨン
軟磁性薄膜 ナンジセイハクマク
高飽和磁化 コウホウワジカ
薄膜ヘツド ハクマクヘツド