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資料種別 図書

光アクチユエータを用いたマイクロ光サーボシステムの制御性に関する研究

福田, 敏男, 名古屋大学

詳細情報

タイトル 光アクチユエータを用いたマイクロ光サーボシステムの制御性に関する研究
著者 福田, 敏男, 名古屋大学
著者標目 福田, 敏男, 1948-
出版年月日等 1992-1993
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 04452156
別タイトル 研究種目 一般研究(B)
出版年(W3CDTF) 1992
件名(キーワード) 光アクチユエータ
件名(キーワード) PLZT
件名(キーワード) バイモルフ
件名(キーワード) 光サーボシステム
件名(キーワード) 制御
件名(キーワード) ヒステリシス
件名(キーワード) 紫外線照射
件名(キーワード) 光圧電素子
NDLC Y151
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