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資料種別 図書

走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価

片岡, 俊彦, 大阪大学

詳細情報

タイトル 走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価
著者 片岡, 俊彦, 大阪大学
出版年月日等 1992-1993
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 04452130
別タイトル 研究種目 一般研究(B)
出版年(W3CDTF) 1992
件名(キーワード) 走査型近接場光学顕微鏡
件名(キーワード) 近接場
件名(キーワード) 表面粗さ
件名(キーワード) 圧電素子
件名(キーワード) レーザ
件名(キーワード) 絶縁体表面
件名(キーワード) 超精密加工表面
件名(キーワード) ニアフイールド
NDLC Y151
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