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走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価

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走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H04452130
国立国会図書館書誌ID
000006986094
資料種別
図書
著者
片岡, 俊彦, 大阪大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ソウサガタ キンセツジョウ コウガク ケンビキョウ ニ ヨル チョウセイミツ カコウ ヒョウメン ノ ヒョウカ
著者・編者
片岡, 俊彦, 大阪大学
著者標目
片岡, 俊彦 カタオカ, トシヒコ
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
走査型近接場光学顕微鏡 ソウサガタキンセツバコウガクケンビキヨウ
近接場 キンセツバ
表面粗さ ヒヨウメンアラサ
圧電素子 アツデンソシ
レーザ レーザ
絶縁体表面 ゼツエンタイヒヨウメン
超精密加工表面 チヨウセイミツカコウヒヨウメン
ニアフイールド ニアフイールド