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資料種別 図書

多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

尾田, 十八, 金沢大学

詳細情報

タイトル 多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究
著者 尾田, 十八, 金沢大学
著者標目 尾田, 十八, 1943-
出版年月日等 1992-1994
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 04452121
別タイトル 研究種目 一般研究(B)
出版年(W3CDTF) 1992
件名(キーワード) 薄膜
件名(キーワード) 多層体
件名(キーワード) 基板
件名(キーワード) 接触理論
件名(キーワード) 弾性特性
件名(キーワード) 非弾性特性
件名(キーワード) 逆解析
件名(キーワード) 有限要素法
NDLC Y151
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