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送り・案内要素の特性を考慮したナノメータ精度位置決めの研究

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送り・案内要素の特性を考慮したナノメータ精度位置決めの研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H04302030
国立国会図書館書誌ID
000006985531
資料種別
図書
著者
大塚, 二郎, 静岡理工科大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
オクリ ・ アンナイ ヨウソ ノ トクセイ オ コウリョ シタ ナノメータ セイド イチギメ ノ ケンキュウ
著者・編者
大塚, 二郎, 静岡理工科大学
著者標目
大塚, 二郎, 1940- オオツカ, ジロウ, 1940- ( 00063672 )典拠
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 総合研究(A)
件名標目
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
ナノメータ ナノメータ
送り要素 オクリヨウソ
案内要素 アンナイヨウソ