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マイクロ波プラズマを利用する化学輸送法の立方晶窒化ホウ素膜堆積への応用

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マイクロ波プラズマを利用する化学輸送法の立方晶窒化ホウ素膜堆積への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H03650544
国立国会図書館書誌ID
000006983849
資料種別
図書
著者
明石和夫, 東京理科大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロハ プラズマ オ リヨウ スル カガク ユソウホウ ノ リッポウショウ チッカ ホウソマク タイセキ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
明石和夫, 東京理科大学
著者標目
明石, 和夫 アカシ, カズオ
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
水素 スイソ
窒素 チツソ
ホウ素 ホウソ
窒化ホウ素 チツカホウソ
高周波プラズマ コウシユウハプラズマ
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
シリコン基板 シリコンキバン
化学輸送法 カガクユソウホウ