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資料種別 図書

マイクロ波プラズマを利用する化学輸送法の立方晶窒化ホウ素膜堆積への応用

明石和夫, 東京理科大学

詳細情報

タイトル マイクロ波プラズマを利用する化学輸送法の立方晶窒化ホウ素膜堆積への応用
著者 明石和夫, 東京理科大学
出版年月日等 1991-1992
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 03650544
別タイトル 研究種目 一般研究(C)
出版年(W3CDTF) 1991
出版年(W3CDTF) 1992
件名(キーワード) 水素
件名(キーワード) 窒素
件名(キーワード) ホウ素
件名(キーワード) 窒化ホウ素
件名(キーワード) 高周波プラズマ
件名(キーワード) マイクロ波プラズマ
件名(キーワード) シリコン基板
件名(キーワード) 化学輸送法
NDLC Y151
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