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化学気相成長法による薄膜製造の高効率化

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化学気相成長法による薄膜製造の高効率化

国立国会図書館請求記号
Y151-H03650177
国立国会図書館書誌ID
000006983639
資料種別
図書
著者
瀧本, 昭, 金沢大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル ハクマク セイゾウ ノ コウコウリツカ
著者・編者
瀧本, 昭, 金沢大学
著者標目
瀧本, 昭 タキモト, アキラ
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
化学気相成長法 カガクキソウセイチヨウホウ
薄膜製造 ハクマクセイゾウ
高効率化 コウコウリツカ
微粒子 ビリユウシ
熱・物質移動 ネツ・ブツシツイドウ