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資料種別 図書

CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

三好, 良夫, 大阪大学

詳細情報

タイトル CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響
著者 三好, 良夫, 大阪大学
出版年月日等 1991-1993
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 03650063
別タイトル 研究種目 一般研究(C)
出版年(W3CDTF) 1991
件名(キーワード) CVD法
件名(キーワード) TiC被覆膜
件名(キーワード) X線応力測定法
件名(キーワード) 密着力
件名(キーワード) 圧縮残留応力
件名(キーワード) 熱衝撃
件名(キーワード) 疲労強度
件名(キーワード) フレツチング疲労強度
NDLC Y151
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