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図書
ガリウムひ素表面の低温フツ化
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ガリウムひ素表面の低温フツ化
国立国会図書館請求記号
Y151-H03650019
国立国会図書館書誌ID
000006983557
資料種別
図書
著者
奥村, 次徳, 東京都立大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
ガリウムひ素表面の低温フツ化
タイトルよみ
ガリウム ヒソ ヒョウメン ノ テイオン フツカ
著者・編者
奥村, 次徳, 東京都立大学
著者標目
奥村, 次徳
オクムラ, ツグノリ (
01038389
)
典拠
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
ひ化ガリウム
ヒカガリウム
プラズマフツ化
プラズマフツカ
フツ化物
フツカブツ
X線光電子分光
Xセンコウデンシブンコウ
アモルフアスひ素
アモルフアスヒソ
リモートプラズマ
リモートプラズマ
水素クリーニング
スイソクリーニング
表面損傷
ヒヨウメンソンシヨウ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
03650019
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H03650019
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000006983557
http://id.ndl.go.jp/bib/000006983557
整理区分コード
214
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