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極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

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極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

国立国会図書館請求記号
Y151-H03555061
国立国会図書館書誌ID
000006982823
資料種別
図書
著者
新宮原, 正三, 広島大学
出版者
-
出版年
1991-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ゴク ビサイ キンゾク ハイセン ニ オケル コウミツド デンシリュウ ニ ユウキ サレル ホウコウセイ ゲンシ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ オヨビ セイギョ
著者・編者
新宮原, 正三, 広島大学
著者標目
著者 : 新宮原, 正三, 1955- シングウバラ, ショウゾウ, 1955- ( 00942782 )典拠
広島大学 ヒロシマ ダイガク ( 00260060 )典拠
出版年月日等
1991-1993
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
エレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン
電子顕微鏡その場観察 デンシケンビキヨウソノバカンサツ
ボイド ボイド
高磁場ECRスパツタ コウジバECRスパツタ
自己維持スパツタ ジコイジスパツタ
分子動力学シミユレーシヨン ブンシドウリキガクシミユレーシヨン
結晶粒界 ケツシヨウリユウカイ
析出合金 セキシユツゴウキン