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資料種別 図書

極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

新宮原, 正三, 広島大学

詳細情報

タイトル 極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御
著者 新宮原, 正三, 広島大学
出版年月日等 1991-1993
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 03555061
別タイトル 研究種目 試験研究(B)
出版年(W3CDTF) 1991
件名(キーワード) エレクトロマイグレーシヨン
件名(キーワード) 電子顕微鏡その場観察
件名(キーワード) ボイド
件名(キーワード) 高磁場ECRスパツタ
件名(キーワード) 自己維持スパツタ
件名(キーワード) 分子動力学シミユレーシヨン
件名(キーワード) 結晶粒界
件名(キーワード) 析出合金
NDLC Y151
資料の種別 図書

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