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資料種別 図書

半導体微細加工技術を用いた電子増倍デバイスの開発

高橋, 幸郎, 埼玉大学

詳細情報

タイトル 半導体微細加工技術を用いた電子増倍デバイスの開発
著者 高橋, 幸郎, 埼玉大学
出版年月日等 1991-1992
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 03452177
別タイトル 研究種目 一般研究(B)
出版年(W3CDTF) 1991
件名(キーワード) マイクロチヤネルプレート
件名(キーワード) 電子増倍
件名(キーワード) シリコンエツチング
件名(キーワード) 化学的気粗成長法
件名(キーワード) 2次電子増倍
件名(キーワード) 異方性エツチング
件名(キーワード) 半導体微細加工技術
NDLC Y151
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