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資料種別 図書

単原子メモリーの基礎研究

浅野, 種正, 九州工業大学

詳細情報

タイトル 単原子メモリーの基礎研究
著者 浅野, 種正, 九州工業大学
著者標目 浅野, 種正, 1953-
出版年月日等 1991-1992
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 03452083
別タイトル 研究種目 一般研究(B)
出版年(W3CDTF) 1991
件名(キーワード) トンネル効果
件名(キーワード) 電界放射
件名(キーワード) イオンミリング
件名(キーワード) 異方性エツチング
件名(キーワード) スパツタリング
件名(キーワード) 真空マイクロ素子
NDLC Y151
資料の種別 図書

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