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資料種別 図書

低速電子透過分光法による半導体ヘテロ界面のその場観察

長谷川, 繁彦, 大阪大学

詳細情報

タイトル 低速電子透過分光法による半導体ヘテロ界面のその場観察
著者 長谷川, 繁彦, 大阪大学
出版年月日等 1991-1992
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 03452081
別タイトル 研究種目 一般研究(B)
出版年(W3CDTF) 1991
件名(キーワード) 低速電子透過分光法
件名(キーワード) 半導体ヘテロ界面
件名(キーワード) シリコン
件名(キーワード) ゲルマニウム
件名(キーワード) 低速電子回折
件名(キーワード) オージエ電子分光法
件名(キーワード) 界面の構造
件名(キーワード) 格子歪
NDLC Y151
資料の種別 図書

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