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資料種別 図書

レーザ光束によるサブミクロン粒子の制御技術の開発に関する研究

清水, 勲, 茨城工業高等専門学校

詳細情報

タイトル レーザ光束によるサブミクロン粒子の制御技術の開発に関する研究
著者 清水, 勲, 茨城工業高等専門学校
出版年月日等 1990-1991
大きさ、容量等
注記 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号 02555062
別タイトル 研究種目 試験研究(B)
出版年(W3CDTF) 1990
件名(キーワード) レーザ光圧力
件名(キーワード) 粒子の非接触マニピユレート
件名(キーワード) クリーンルーム
件名(キーワード) サブミクロン粒子汚染
件名(キーワード) 光バリア
件名(キーワード) ウエハ汚染防止
件名(キーワード) 真空中の粒子マニピユレート
NDLC Y151
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