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マイクロロボツトの製作プロセスの自動生成に関する研究

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マイクロロボツトの製作プロセスの自動生成に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H02452130
国立国会図書館書誌ID
000006977842
資料種別
図書
著者
三浦, 宏文, 東京大学
出版者
-
出版年
1990-1991
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロロボツト ノ セイサク プロセス ノ ジドウ セイセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
三浦, 宏文, 東京大学
著者標目
三浦, 宏文, 1938-2020 ミウラ, ヒロフミ, 1938-2020 ( 00137606 )典拠
出版年月日等
1990-1991
出版年(W3CDTF)
1990
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
マイクロロボツト マイクロロボツト
CVD CVD
エツチング エツチング
プラニング プラニング
半導体プロセス ハンドウタイプロセス