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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- チョウビサイ プロセスヨウ テイエネルギー リュウシ ビーム ゲン ノ カイハツ
- 著者・編者
- 菅井秀郎, 名古屋大学
- 著者標目
- 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ
- 出版年月日等
- 1989-1990
- 出版年（W3CDTF）
- 19891990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究
- 件名標目
- プラズマプロセス プラズマプロセスプラズマエツチング プラズマエツチングプラズマCVD プラズマCVD表面磁場 ヒヨウメンジバ多極磁場 タキヨクジバ高周波放電 コウシユウハホウデンフラグメンテーシヨン フラグメンテーシヨンプラズマ・表面相互作用 プラズマ・ヒヨウメンソウゴサヨウ