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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マク ソセイ セイギョ スパツタ ソウチ ノ シサク ト キンゾク-セラミツクス セツゴウ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 中島, 孝慈, 富山工業高等専門学校
- 著者標目
- 中島, 孝慈 ナカジマ, タカヨシ
- 出版年月日等
- 1990-1991
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究
- 件名標目
- 組成比率 ソセイヒリツ合金膜 ゴウキンマクマグネトロンスパツタ マグネトロンスパツタ多層構造 タソウコウゾウセラミツク 金属接合 セラミツクキンゾクセツゴウ濡れ ヌレ蝋付け ロウズケ