規格・テクニカルリポート類

Debris free, electron beam driven, lithography source at 130 (angstrom) LA-UR-94-3785 DE95 003687 CONF-94091776

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Debris free, electron beam driven, lithography source at 130 (angstrom)

LA-UR-94-3785 DE95 003687 CONF-94091776

国立国会図書館請求記号
LS-DE95/003687
国立国会図書館書誌ID
000005513307
資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者
Fulton, R. Dほか
出版者
-
出版年
1994
資料形態
マイクロ
ページ数・大きさ等
6 p. (1 microfiche)
NDC
-
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書誌情報

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マイクロ

資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者・編者
Fulton, R. D
Abdallah, J
Goldstein, J. C
Jones, M. E
Kilcrease, D. P
出版年月日等
1994
出版年(W3CDTF)
1994
数量
6 p. (1 microfiche)
資料種別(注記)
[microform]
リポート番号
テクニカルリポート番号 : LA-UR-94-3785
テクニカルリポート番号 : DE95 003687
テクニカルリポート番号 : CONF-94091776
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
LS-DE95/003687