規格・テクニカルリポート類

Atomic force microscopy as a process characterization tool for GaAs-based integrated circuit fabrication SAND-94-2426C DE95 006223 CONF-9501172

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Atomic force microscopy as a process characterization tool for GaAs-based integrated circuit fabrication

SAND-94-2426C DE95 006223 CONF-9501172

国立国会図書館請求記号
LS-DE95/006223
国立国会図書館書誌ID
000005512704
資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者
Howard, A. Jほか
出版者
-
出版年
1995
資料形態
マイクロ
ページ数・大きさ等
5 p. (1 microfiche)
NDC
-
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書誌情報

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マイクロ

資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者・編者
Howard, A. J
Baca, A. G
Shul, R. J
Zolper, J. C
Sherwin, M. E
出版年月日等
1995
出版年(W3CDTF)
1995
数量
5 p. (1 microfiche)
資料種別(注記)
[microform]
リポート番号
テクニカルリポート番号 : SAND-94-2426C
テクニカルリポート番号 : DE95 006223
テクニカルリポート番号 : CONF-9501172
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
LS-DE95/006223