規格・テクニカルリポート類

Reflective masks for extreme ultraviolet lithography. Thesis (Ph.D) LBL-36078 DE95 003427

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Reflective masks for extreme ultraviolet lithography. Thesis (Ph.D)

LBL-36078 DE95 003427

国立国会図書館請求記号
LS-DE95/003427
国立国会図書館書誌ID
000005510674
資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者
Nguyen, K. B
出版者
-
出版年
1994
資料形態
マイクロ
ページ数・大きさ等
146 p. (2 microfiches)
NDC
-
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書誌情報

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マイクロ

資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者・編者
Nguyen, K. B
出版年月日等
1994
出版年(W3CDTF)
1994
数量
146 p. (2 microfiches)
資料種別(注記)
[microform]
リポート番号
テクニカルリポート番号 : LBL-36078
テクニカルリポート番号 : DE95 003427
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
LS-DE95/003427