Role of point defects and defect complexes in silicon device processing. Summary report and papers NREL/TP-413-7061 DE94 011873 CONF-9308193-SUMM

Role of point defects and defect complexes in silicon device processing. Summary report and papers

NREL/TP-413-7061 DE94 011873 CONF-9308193-SUMM

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資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Role of point defects and defect complexes in silicon device processing. Summary report and papers
著者・編者: Sopori, B
Tan, T. Y
出版年月日等: 1994
出版年（W3CDTF）: 1994
数量: 118 p. (2 microfiches)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : NREL/TP-413-7061
テクニカルリポート番号 : DE94 011873
テクニカルリポート番号 : CONF-9308193-SUMM
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE94/011873
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005500691
http://id.ndl.go.jp/bib/000005500691
整理区分コード: 291