Effects of ambient conditions on the adhesion of cubic boron nitride films on silicon substrates SAND-94-8620C DE94 016779 CONF-9404404

Effects of ambient conditions on the adhesion of cubic boron nitride films on silicon substrates

SAND-94-8620C DE94 016779 CONF-9404404

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資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Effects of ambient conditions on the adhesion of cubic boron nitride films on silicon substrates
著者・編者: Cardinale, G. F
Howitt, D. G
Mirkarimi, P. B
McCarty, K. F
Klaus, E. J
出版年月日等: [1994]
出版年（W3CDTF）: 1994
数量: 14 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-94-8620C
テクニカルリポート番号 : DE94 016779
テクニカルリポート番号 : CONF-9404404
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE94/016779
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005500186
http://id.ndl.go.jp/bib/000005500186
整理区分コード: 291