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微細加工技術 基礎編 (ポリマーフロンティア21シリーズ ; 13)

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微細加工技術. 基礎編

(ポリマーフロンティア21シリーズ ; 13)

国立国会図書館請求記号
ND371-G221
国立国会図書館書誌ID
000003683939
資料種別
図書
著者
高分子学会 編
出版者
エヌ・ティー・エス
出版年
2002.9
資料形態
ページ数・大きさ等
192, 5p ; 27cm
NDC
549.8
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目次

  • 1 近接場光学を用いたナノフォトニクスとそのための微細加工

    東京工業大学大学院総合理工学研究科 教授 大津元一

  • 1. はじめに/ 3

  • 2. 21世紀の社会の要求/ 3

  • 3. ナノフォトニクスよる限界打破/ 5

  • 3.1 近接場光の発生と使用/ 7

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-86043-006-9
タイトル
タイトルよみ
ビサイ カコウ ギジュツ
巻次・部編番号
基礎編
著者・編者
高分子学会 編
著者標目
高分子学会 コウブンシ ガッカイ ( 00273047 )典拠
出版年月日等
2002.9